APEX Semiconductor GmbH

Over het bedrijf

APEX Semiconductor GmbH is een dienstverlener en leverancier van oplossingen voor de halfgeleiderindustrie. We repareren en onderhouden, upgraden of optimaliseren fotolithografische machines wereldwijd.

APEX Semiconductor ondersteunt sinds 1999 een breed scala aan fotoapparatuur van OEM's die niet meer bestaan (bijv. Convac-Fairchild, BLE Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) of waar de OEM's hebben simpelweg de ondersteuning stopgezet vanwege de ouderdom van de systemen.

Voor een breed scala aan modellen bieden wij de volgende diensten en reserveonderdelen:

Karl Suss ACS 200 Classic, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate, VPO Tracks
Karl Suss RC8 Standalone Coater, Kookplaat Gereedschap
Suss Microtec Gamma 60 en 80, ACS 200+, Delta Coater, Developer of Table Top
Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Ontwikkelaar Hotplate, Coolplate, HMDS, VPO, Lift-Off
Convac M6000 Coater, Developer, HMDS, Hotplate, Cleaner, Lift Off, Etcher etc.
Convac M2000 Coater, Developer tracks en alle andere handmatige tools
Convac handmatige standalone procesmachines
Convac APT-systemen
BLE Gamma, Respect, Acrobat, Delta .
SSE en ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
SVG-tracks uit de jaren 90 en andere SVG-tools, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
Semitek, Hamatech
KLA 21xx

Onze diensten omvatten het volgende:

Onsite probleemoplossing
Escalatieservice op locatie
Online hulp
Revisies en renovaties van machines en subsystemen zoals Genmark Robots, Isel Robots en Frogleg Robots, Single Process Modules zoals Hotplates, Coolplates, Coater stations, etc.
Onderdelenreparaties voor elektrische, mechanische en pneumatische componenten
Installatie- en de-installatieservice
Verhuisservice voor procesapparatuur
Procesondersteuning en -optimalisatie
Broninspectie
Upgrades
We kunnen ook specialistische service bieden voor KLA 21xx-ondersteuning en reserveonderdelen
Door onze lange ervaring in de industrie met 2″ en kleinere en tot 16″ substraten, zowel rond als vierkant, zijn we in staat upgrades aan te bieden waarbij we hardware herontwerpen zonder softwarewijzigingen.

We hebben ook een enorme voorraad (400 vierkante meter) aan nieuwe of gebruikte reserveonderdelen: verschillende spinmotoren, spincontrollers (Novotron ND 21-31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix …), CPU-units voor Convac, SSE ( PMA PU 104 …), Convac-printplaten, SVG-printplaten, SSE-printplaten enz. elektrische onderdelen, mechanische onderdelen en samenstellingen….

Als u een oudere Coater-Developer Tool heeft en het systeem lichte of ernstige problemen heeft of u zoekt gewoon ondersteuning op een oudere procesmachine, neem dan contact met ons op. Wij zijn hier om u te ondersteunen.