APEX Semiconductor GmbH

Über das Unternehmen

Die APEX Semiconductor GmbH ist ein Service- und Lösungsanbieter für die Halbleiterindustrie. Wir reparieren und warten, modernisieren oder optimieren photolithographische Maschinen weltweit.

APEX Semiconductor unterstützt seit 1999 eine breite Palette von Fotogeräten von OEMs, die es nicht mehr gibt (z. B. Convac-Fairchild, BLE Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) oder wo die OEMs haben den Support aufgrund des Alters der Systeme einfach eingestellt.

Für eine Vielzahl von Modellen bieten wir die folgenden Dienstleistungen und Ersatzteile an:

Karl Suss ACS 200 Classic, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate, VPO Tracks
Karl Suss RC8 Standalone Coater, Heizplattenwerkzeuge
Suss Microtec Gamma 60 und 80, ACS 200+, Delta Coater, Entwickler oder Table Top
Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Entwicklerheizplatte, Kühlplatte, HMDS, VPO, Lift-Off
Convac M6000 Coater, Developer, HMDS, Hotplate, Cleaner, Lift Off, Etcher etc.
Convac M2000 Coater, Developer Tracks und alle anderen manuellen Tools
Manuelle Standalone-Prozessmaschinen von Convac
Convac APT-Systeme
BLE Gamma, Respekt, Acrobat, Delta .
SSE und ATMsse Maximus 804, Opticoat, Optiwet Optihot
SVG 90s Tracks und andere SVG-Tools, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
Semitek, Hamatech
KL 21xx

Unsere Dienstleistungen umfassen Folgendes:

Fehlerbehebung vor Ort
Eskalationsdienst vor Ort
Online-Hilfe
Überholungen und Modernisierungen von Maschinen und Subsystemen, z. B. Genmark-Roboter, Isel-Roboter und Frogleg-Roboter, einzelne Prozessmodule wie Hotplates, Coolplates, Coater-Stationen usw.
Teilereparaturen für elektrische, mechanische und pneumatische Komponenten
Installations- und Deinstallationsservice
Umzugsservice für Prozessanlagen
Prozessunterstützung und -optimierung
Quelleninspektion
Upgrades
Wir sind auch in der Lage, spezialisierten Service für KLA 21xx Support und Ersatzteile anzubieten
Aufgrund unserer langjährigen Erfahrung in der Branche mit 2″ und kleineren und bis zu 16″ Substraten, entweder rund oder quadratisch, sind wir in der Lage, Upgrades anzubieten, bei denen wir Hardware ohne Softwareänderungen neu entwerfen.

Wir haben auch ein großes Lager (400 Quadratmeter) an neuen oder gebrauchten Ersatzteilen: Diverse Spin-Motoren, Spin-Controller (Novotron ND 21- 31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix …), CPU-Einheiten für Convac, SSE ( PMA PU 104 …), Convac-Leiterplatten, SVG-Leiterplatten, SSE-Leiterplatten usw. elektrische Teile, mechanische Teile und Baugruppen….

Wenn Sie ein älteres Coater-Developer Tool haben und das System leichte schwerwiegende Probleme hat oder Sie einfach nur Unterstützung für eine ältere Prozessmaschine suchen, rufen Sie uns bitte an. Wir sind hier, um Sie zu unterstützen.