APEX Semiconductor GmbH

Om virksomheden

APEX Semiconductor GmbH er en service- og løsningsudbyder til halvlederindustrien. Vi reparerer og servicerer, opgraderer eller optimerer fotolitografiske maskiner verden over.

APEX Semiconductor har siden 1999 understøttet en bred vifte af fotoudstyr fra OEM'er, der ikke længere eksisterer (dvs. Convac-Fairchild, BLE Laboratory Equipment, SSE (Sister Semiconductor Equipment), SVG (Silicon Valley Group), ATMsse, APT (Convac) eller hvor OEM'er har simpelthen ophørt med support på grund af systemernes alder.

For en bred vifte af modeller leverer vi følgende tjenester og reservedele:

Karl Suss ACS 200 Classic, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate, VPO Tracks
Karl Suss RC8 Standalone Coater, Kogepladeværktøj
Suss Microtec Gamma 60 og 80, ACS 200+, Delta Coater, udvikler eller bordplade
Fairchild / Convac / Suss Microtec Falcon Coater, Developer Hotplate, Coolplate, HMDS, VPO, Lift-Off
Convac M6000 Coater, Fremkalder, HMDS, Kogeplade, Renser, Lift Off, Etcher osv.
Convac M2000 Coater, Developer tracks og alle andre manuelle værktøjer
Convac manuelle selvstændige procesmaskiner
Convac APT systemer
BLE Gamma, Respekt, Acrobat, Delta .
SSE og ATMsse Maximus 804 , Opticoat, Optiwet Optihot
SVG 90'er spor og andre SVG-værktøjer, Coater, Developer, Hotplate, Coolplate,
Semitek, Hamatech
KLA 21xx

Vores tjenester omfatter følgende:

Fejlfinding på stedet
Eskaleringsservice på stedet
Online support
Eftersyn og renoveringer af maskiner og delsystemer, dvs. Genmark Robots, Isel Robots og Frogleg Robots, Single Process Modules som Kogeplader, Coolplates, Coater-stationer mv.
Dele Reparationer af elektriske, mekaniske og pneumatiske komponenter
Installation og de-installation service
Flytteservice for procesudstyr
Processtøtte og optimering
Kildeinspektion
Opgraderinger
Vi er også i stand til at tilbyde specialistservice på KLA 21xx support og reservedele
På grund af vores lange erfaring i branchen med 2″ og mindre og op til 16″ substrater, enten runde eller firkantede, er vi i stand til at tilbyde opgraderinger, hvor vi redesigner hardware uden softwareændringer.

Vi har også et stort lager (400 kvadratmeter) af nye eller brugte reservedele: Forskellige spinmotorer, spin-controllere (Novotron ND 21-31, Convac, Seidel WKS65, Berger Lahr, Metronix …), CPU-enheder til Convac, SSE ( PMA PU 104 …), Convac PCB’er, SVG PCB’er, SSE PCB’er osv. elektriske dele, mekaniske dele og samlinger….

Hvis du har et ældre Coater-Developer Tool og systemet har lette eller alvorlige problemer, eller du blot søger support på en ældre procesmaskine, så ring til os. Vi er her for at støtte dig.